Kesalahan sensor tekanan?
Pertama, kesalahan offset: Karena offset vertikal sensor tekanan tetap konstan di seluruh rentang tekanan, perubahan difusi konverter dan koreksi penyesuaian laser akan menghasilkan kesalahan offset.
Kedua, ada kesalahan sensitivitas: besarnya kesalahan yang dihasilkan sebanding dengan tekanan. Jika sensitivitas perangkat lebih tinggi dari nilai tipikal, kesalahan sensitivitas akan menjadi fungsi tekanan yang meningkat. Jika sensitivitas lebih rendah dari nilai tipikal, kesalahan sensitivitas akan menjadi fungsi penurunan tekanan. Alasan kesalahan ini adalah karena perubahan dalam proses difusi.
Yang ketiga adalah kesalahan linier: ini adalah faktor yang berdampak kecil pada kesalahan awal sensor tekanan. Alasan untuk kesalahan ini adalah ketidaklinieran fisik wafer silikon, tetapi untuk sensor dengan amplifier, ketidaklinieran penguat juga harus disertakan. Kurva kesalahan linier dapat berupa kurva cekung atau kurva cembung untuk menimbang sensor.
Terakhir, ada kesalahan histeresis: Dalam kebanyakan kasus, kesalahan histeresis sensor tekanan dapat diabaikan sama sekali karena wafer silikon memiliki kekakuan mekanis yang tinggi. Umumnya, kesalahan histeresis hanya perlu dipertimbangkan dalam situasi di mana tekanan berubah secara signifikan.
